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光学纳米级精加工
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超精密自由曲面加工机床 650FGv2
Moore Nanotech 650 FG
标准配置X/Y/Z三个直线轴,可以选配C/B/A三个回转轴最多可同时配备六轴(X/Y/Z/C/B/A)
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  • 产品描述
  • 产品参数

    • 适用于同轴非球面和螺旋表面车削加工,慢刀伺服(旋转式)进行自由曲面加工,栅格飞刀技术进行自由曲面、线性衍射面以及光学棱形结构加工;

    • 专利耐撞击多孔石墨涂层空气主轴 – 全转速范围内主轴跳动小于12.5 纳米,C 轴反馈分辨率为 0.01 弧秒;

    • 业界领先的激光全息线性光栅尺,反馈分辨率 8 皮米;

    • 标准加工口径 650mm,可定制更大加工口径;

    • 低频空气隔震阻尼系统(用于阻尼2-10Hz低频震动),全约束式油静压导轨,X 轴行程 350mm,Z 轴行程300mm,Y 轴垂直行程 150mm;

    规格

    属性

    产品参数


    最大加工范围

    650x300mm

    编程分辨率

    线性分辨率 0.01nm/ 角度分辨率 0.0000001°

    主轴转速

     50~10,000rpm(双向)

    主轴精度

    轴向:≤12.5nm 径向 ≤12.5nm

    加工精度

    面型精度(P-V):0.15 μm/表面粗糙度(Ra):3.0nm

    驱动

    油静压导轨、直线电机

    选配

    C轴:用于加工非回转对称的形状 

    B轴:用于实现法向跟踪的加工方式 

    磨削(铣削)头:用于磨削加工或者铣削加工 

    动平衡仪:专门用于测量磨削头在装配砂轮后的跳动 

    恒温空调:控制精度±0.1°C 

    低频空气隔震阻尼系统:用于阻尼2-10Hz低频震动 

    慢刀伺服:需要配备C轴,实现非回转对称加工 

    快刀伺服:需要配备C轴,最大加速度5G,最大总行程6000μm,大幅提升非回转对称面型产品加工效率


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