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光学纳米级精加工
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超精密加工机床 250UPL v2
Moore Nanotech 250 UPL
标准配置X/Z两个直线轴,可以选配C轴、B轴或者Y;最多同时配置四轴(X/Z/CB或者X/Z/C/Y)
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  • 产品描述
  • 产品参数

    • 专利耐撞击多孔石墨涂层空气主轴 – 全转速范围内主轴跳动小于 12.5 纳米,C 轴反馈分辨率为 0.01 弧秒;

    • 业界先进的激光全息线性光栅尺,反馈分辨率 8.4 皮米;

    • 整体式复合大理石床身结构,紧凑型空间设计,低频空气隔震阻尼系统(用于阻尼2-10Hz低频震动),提高热稳定性和减震性;

    • 全约束式油静压导轨,提供平滑、高刚性和高减震能力的线性运动性能;


    规格

    属性

    产品参数


    最大加工范围

    350x200mm

    编程分辨率

    线性分辨率 0.01nm/ 角度分辨率 0.0000001°

    主轴转速

     50至10,000rpm(双向)

    主轴精度

    轴向:12.5nm 径向:12.5nm

    加工精度

     面型精度 (P-V):≤0.1μm/ 表面粗糙度 (Ra)≤2.0nm

    驱动

    油静压导轨、直线电机

    选配

    C轴:用于加工非回转对称的形状 

    B轴:用于实现法向跟踪的加工方式 

    恒温空调:控制精度±0.1°C 

    低频空气隔震阻尼系统:用于阻尼2-10Hz低频震动 

    慢刀伺服:需要配备C轴,实现非回转对称加工 

    快刀伺服:需要配备C轴,最大加速度5G,最大总行程6000μm,大幅提升非回转对称面型产品加工效率


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