• 专利耐撞击多孔石墨涂层空气主轴 – 全转速范围内主轴跳动小于 12.5 纳米，C 轴反馈分辨率为 0.01 弧秒；
• 业界先进的激光全息线性光栅尺，反馈分辨率 8.4 皮米；
• 整体式复合大理石床身结构，紧凑型空间设计，低频空气隔震阻尼系统（用于阻尼2-10Hz低频震动），提高热稳定性和减震性；
• 全约束式油静压导轨，提供平滑、高刚性和高减震能力的线性运动性能；
规格 | 属性 |
产品参数 | |
最大加工范围 | 350x200mm |
编程分辨率 | 线性分辨率 0.01nm/ 角度分辨率 0.0000001° |
主轴转速 | 50至10,000rpm（双向） |
主轴精度 | 轴向：12.5nm 径向：12.5nm |
加工精度 | 面型精度 (P-V):≤0.1μm/ 表面粗糙度 (Ra)≤2.0nm |
驱动 | 油静压导轨、直线电机 |
选配 | C轴：用于加工非回转对称的形状 B轴：用于实现法向跟踪的加工方式 恒温空调：控制精度±0.1°C 低频空气隔震阻尼系统：用于阻尼2-10Hz低频震动 慢刀伺服：需要配备C轴，实现非回转对称加工 快刀伺服：需要配备C轴，最大加速度5G，最大总行程6000μm，大幅提升非回转对称面型产品加工效率 |
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